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发布时间:2021-12-23 10:28:00 作者:拉奇纳米镀膜
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵、油扩散泵三大部分组成。它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。环保纳米镀膜设备
真空镀膜机是由真空炉体,真空泵,控制柜,真空计,冷却系统等部件组成,真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
真空镀膜是真空科学技术领域中活跃的一门应用技术,它涉及到镀膜设备、工艺、膜材、靶材等诸多方面,薄膜的种类很多。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用
擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
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