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真空镀膜设备是制作真空条件应用较为广泛的一种设备。

根据加工产品要求的各异，真空腔大小不同，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

蒸发系统主要是指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子***蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式。

一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，每个系统可以完成不同的功能。

真空镀膜设备有关构成及各部件：机械泵、增压泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系统。

真空镀膜设备真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样.

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空.

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，分子束外延，激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜设备真空系统技术要求

真空系统能够通过外接电极进行控制、监测、加热等磁控溅射镀膜需要对工件进行烘烤除气、用离子轰击进行除气和清洗以提高薄膜的质量和结合力，除此之外还希望能够监测工件镀膜时的温度，在线控制薄膜厚度。