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真空镀膜设备的维护需要实际操作，不仅包括真空镀膜设备本身，还包括真空镀膜设备等配置。毕竟，配置是真空镀膜设备维护的重要前提。

真空镀膜设备的维护保养等许多技能都是一样的，有着丰富的经验来应对各种情况，保证良好的效果。等离子化学气相沉积

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至一定量。连续使用半年以上，再将真空泵油时应该将油盖打开，用布擦拭箱内的污垢。

真空镀膜可以使原料具有许多新的、好的物理和分析化学特征。

真空镀膜是应用物理分析化学方法，在固体表面涂上特征的表面涂层，使固体表面具有耐磨性、耐高温性、耐腐蚀性、耐氧化性、电磁波辐射性、导电性、吸磁性、电缆护套和设计装饰性等优于固体原料本身的优点，提高产品质量、提高产品使用期限、节约能源、获得显着性经济效益。等离子化学气相沉积

真空镀膜应用属于一种干式镀膜，它的主要方法包括以下几种：

1、真空蒸镀

其原理是在真空条件下，用蒸发器加热带蒸发物质，使其气化或升华，蒸发离子流直接射向基片。

2、溅射镀膜

溅射镀膜是真空条件下，带正电的离子撞击，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。

3、离子镀膜

利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，并在离子轰击下，将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。

真空镀膜技术一般分为物理液相堆积(PVD)技术和有机化学液相堆积(有机化学液相堆积)技术两类。

利用化学物质的热挥发和离子轰击分子在化学物质表层的磁控溅射等物理学全过程，完成化学物质分子从源化学物质到塑料薄膜的控制转移全过程。具有薄膜/底材结合性好、塑料薄膜均匀高密度均匀、塑料薄膜厚度可控性好、磁控溅射复盖面广、塑料薄膜堆积厚、铝合金塑料薄膜平稳、可重复性好的优点。