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发布时间:2021-08-19 02:17:00 作者:拉奇纳米镀膜
镀膜技术在集成电路制造中的应用 晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、电极管线(多晶硅、铝、铜及其合金)等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的***技术之一。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
关机操作顺序;
1.关高真空表头、关分子泵。
2.待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3.到50以下时,再关维持泵。
真空镀膜机-适用范围
1.建筑五金:卫浴五金(如水***).门锁.门拉手.卫浴、门锁、五金合叶、家具等
2.制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品
3.其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.
4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等
5、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。
6、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜
7、不锈钢管和板
8、家具、灯具、宾馆用具
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、分子束外延镀膜机和激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。镀膜技术在飞机防护涂层方面的应用飞机的钛合金紧固件,原来采用电镀方法镀镉。
真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要,直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。
在镀膜领域,镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此,当评价薄膜样品的性能时,需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形,这往往需要进行多次试样的制备。
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