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发布时间:2020-12-29 18:48:00 作者:拉奇纳米镀膜
Parylene(中文称:派瑞林、聚对,或派拉伦)是对一系列***的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对,是一种完全线性的高度结晶结构的材料。
Parylene用***的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材外观"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种外形的外观,包括尖锐的棱边,裂缝里和内外观。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有的电绝缘性和防护性,是现代有用的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
ParyleneC和ParyleneN的薄膜击穿电压
Parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。图3画出了相干的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据注解,两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一样平常将升高。
在室温环境下,Parylene可以抵抗化学物质的侵袭,并且在150℃下不溶于所有的。ParyleneC在175℃时可以消融与氯中,而ParyleneN在溶剂的熔点(265℃)时可溶。两种高聚物都可以抵抗大多数溶剂的侵袭。同时,它们也不受像Hostepal, Igepal 和柠檬油这类的应力裂解溶剂的影响。
Parylene在可见光的范围内吸取得很少,因此是透明无色的。无色透明的薄膜可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器件。在低于280微米时,ParyleneN和ParyleneC的吸取都很强。所有的Paryleng在至少60微米的波长下都相对没有特征(除了一些峰值特征以外)。图5,6和7透露表现1个mil薄膜的红外光谱。
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