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什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的***，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美***准：MIL-I-46058C

微纳米加工技术：化学气相沉积工艺（CVD）

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无的纳米膜层。

ParyleneC 在芳烃上一个氢被氯原子取代，具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比N型快得多，是目前应用广、防护效果好的粉材。ParyleneD 在芳烃上二个氢被二个氯原子取代，具有阻燃性。在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、和C型相比，具有更好的热稳定性。

ParyleneHT是苯环上的4个氢原子被氟取代，与C,N,D比较，其薄膜的介电强度高、介电常数低(即透波性能好)，热稳定性好。薄膜本身连续、致密、无,短期耐温可达450摄氏度，长期耐温可达350摄氏度,并具有强的抗紫外线能力，更适合作为高频微波器件的防护材料。

Parylene(中文称:派瑞林、聚对，或派拉伦)是对一系列***的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene，即聚对，是一种完全线性的高度结晶结构的材料。

Parylene用***的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材外观"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种外形的外观，包括尖锐的棱边，裂缝里和内外观。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有的电绝缘性和防护性，是现代有用的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。

，在真空环境下，固体四氯代对环二体在150℃左右升华为气态；

第二，在650℃左右四氯代对环二体裂解成带自由基的活性2,5-二氯对二亚***苯；

第三，在室温(25℃)条件下，游离态的2,5-二氯对二亚***苯在固态基材表面沉积聚合，形成一层无的保形性薄膜。

  Parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点，可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域，因其生物兼容性和生物稳定性，还可以应用在领域。然而，需要注意的是，Parylene涂覆对于材料表面的要求比较高，要求附着力好，无杂质，因此在进行涂覆前，必须对物件的表面进行一定预处理，以增加涂覆物件的附着力。