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发布时间:2020-11-14 22:15:00 作者:拉奇纳米镀膜
晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4、真空度
5、镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:
1、晶格匹配度
2、基片温度
3、蒸发速率
真空镀膜加工☆可以抗酸碱腐蚀☆可以抗溶解(在普通的溶剂中不会被溶解)☆抗冻性能强(低至-200℃)☆具有的屏障效果(低气体渗透性)☆可靠性强,具有极高的绝缘强度☆采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且极薄的膜层☆能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝☆经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强 ....纳米镀膜是一种汽车镀膜美容,其漆面保护效果十分明显,可以避免车漆氧化,达到漆面增亮、抗酸碱、、抗紫外线等多重功效。...
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