石墨烯化学气相沉积常用解决方案「多图」

 真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。一般镀件表面都存在微观不平整度，不一定厚度涂料的整平性，可以填补镀件表面的缺陷，使镀件表面达镜面平整度。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

塑料在真空镀膜前为何要涂层？       

大多数塑料在真空镀膜之前，一般先要涂覆底涂层，主要原因是有以下几点：

 一：塑料在成型后，表面肯定有的粗糙度，比如有0.5um的粗糙度。

真空镀膜层很薄，很难掩盖基材表面的凹凸不平，如果采用底涂技术，光固化涂层厚度约10~20um，涂层自身粗糙度在0.1um以下，因此可大大提高镀层的光亮度。

真空PVD镀膜基本步骤 

 前处理工艺褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹 镀膜工艺抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉 后处理工艺 

清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量；

抽真空：将真空室内的残余气体抽走加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面镀膜：沉积膜层冷却：避免工件氧化变色

? 微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

?传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器， Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种恶劣环境。 

?Parylene适用于微机电(MEMS)、半导体领域之优点

*能进行微米级微细制作和加工；

*与其它微细结构材料有很好的相容性；

* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；

*对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性