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多功能化学气相沉积加工过程中的常见故障排除

多功能化学气相沉积加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如多功能化学气相沉积前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。

多功能化学气相沉积加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。多功能化学气相沉积故障的发生都与操作工***技能和工作责任心有关。多功能化学气相沉积生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,多功能化学气相沉积使得故障在所难免。要减少多功能化学气相沉积生产故障，提高多功能化学气相沉积从业人员的***技能和工作责任心是十分重要的。在装饰性真空镀膜中，依靠完善的涂料涂装技术，可取得耐磨性强、结合力好、光亮度高的镀层。

膜层结合力强，在真空电镀加工过程中，有部分电子撞击到基材表面，表面原子，并且产生清洁的作用，而镀材通过溅射所获得的能量比蒸发所获得的能量高出1到2个数量级，带有如此高能量的镀材原子撞击到基材表面时，有更多的能量可以传递到基材上，产生更多的热能，使被电子的原子加速运动，与部分镀材原子更早互相溶合到一起，其他镀材原子紧随着陆续沉积成膜，加强了膜层与基材的结合力。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。

铁氧体磁性材料及稀土永磁：高导磁软磁铁氧体小磁芯体积小、性能高、用量大；这些产品的表面必须采用Parylene来涂上一层保护层，以增强产品表面的绝缘性、坚固性、光滑性。这种涂层是传统的还氧喷涂所无法达到的；因此，Parylene可用作微机电，微马达的表面处理和绝缘体。稀土永磁产品在汽车、音箱、磁疗、电机等领域的运用越来越广泛。但是这类产品表面的耐腐蚀要求非常高。普通的电镀、电泳处理的后的产品的耐盐雾时间仅能达到70-100小时。而采用Parylene可以达到300-500小时。其耐腐蚀时间是前者的4-5倍。磁性材料（绝缘、防锈、防线伤、填补稳定特性制作）。