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经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 东莞 东莞市 |
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公司官网: | www.dglqnm.com |
公司地址: | 广东省东莞市塘厦镇诸佛岭村民业街33号1栋3楼 |
发布时间:2020-09-25 21:39:00 作者:拉奇纳米镀膜
多弧离子PVD镀膜设备
腔体结构: 立式前开门,卧式前开门,后置真空获得系统
材质用料: 腔体采用SUS304不锈钢材质
离子弧源: 依据设备大小不同配备多套弧电源系统
偏压电源: 配备大功率单级脉冲偏压电源
多弧靶材: 标配多套钛靶或不锈钢靶材
转动系统: 变频调速,公自转结合,可采用上传动或下传动方式
真空系统(装饰镀膜设备Decorative coating):扩散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统(可选)
同时,人们把另一类气相沉积,即通过高温加热金属或金属化合物蒸发成气相,或者通过电子、等离子体、光子等荷能粒子的能量把金属或化合物靶溅射出相应的原子、离子、分子(气态),在固体表面上沉积成固相膜,其中不涉及到物质的化学反应(分解或化合),称为物理气相沉积PVD)。
随着气相沉积技术的发展和应用,上述两类型气相沉积各自都有新的技术内容,两者相互交叉,你中有我,我中有你,致使难以严格分清是化学的还是物理的。
PCVD工艺参数包括微观参数和宏观参数。微观参数如电子能量、等离子体密度及分布函数、反应气体的离解度等。宏观参数对于真空系统有,气体种类、配比、流量、压强、抽速等;对于基体来说有,沉积温度、相对位置、导电状态等;对于等离子体有,放电种类、频率、电极结构、输进功率、电流密度、离子温度等。以上这些参数都是相互联系、相互影响的。
PVD是一种出色的真空镀膜工艺,可改善耐磨性和耐腐蚀性。它对于功能性应用非常需要,例如工具,装饰件,光学增强,模具,模具和刀片。这些只是各种各样已经建立好的应用程序的几个例子。
此技术中使用的设备维护成本低,并且对环境无害。PVD涂层的好处很多。如PVD可以提供真正***的优势,从而增加产品的耐用性和价值。沉积技术在机加工过程中具有重要作用。
机加工工具可能是紧急的应用之一,需要一些特性,例如高温下的硬度,高耐磨性,化学稳定性,韧性和刚度。此外,PVD还能够生产具有优异附着力,均匀层,设计结构,渐变特性,可控形态,材料和特性的高度多样性的涂层。
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