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发布时间:2022-06-30 09:34:00 作者:拉奇纳米镀膜
镀膜材料一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
真空镀膜主要利用辉光放电将气离子撞击靶材表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。
真空镀膜加工的常用办法
(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气到达约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。
(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子碰击阴极,使其射出原子,溅射出的原子经过惰性气氛堆积到基体上形成膜。
真空镀膜加工适用于那些地方
镀膜常用在相机镜头、近视、、老花镜等纠正眼镜上运用。
镀膜是在外表镀上非常薄的通明薄膜。目的是希望削减光的反射,添加透光率,抗紫外线并抑低耀光、鬼影;不同色彩的镀膜,也使的成像色彩平衡的不同。此外,镀膜尚可推迟镜片老化、变色的时间。
真空镀膜技能一般分为两大类,即物理气相堆积(PVD)技能和化学气相堆积(CVD)技能。
物理气相堆积技能具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射规模宽、可堆积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。
化学气相堆积技能是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供应基体,凭借气相作用或基体外表上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的办法,主要包含常压化学气相堆积、低压化学气相堆积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相堆积等。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技能为基础,使用物理或化学办法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技能,为科学研究和实践出产供应薄膜制备的一种新工艺。
真空镀膜加工的基本技能要求
1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应契合GB/T6070的规则。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管,分别丈量各部位的真空度。当发现电场对丈量造成搅扰时,应在丈量口处设备电场屏蔽设备。
3、假如设备运用的主泵为分散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以及其他关键部位。
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