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真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

清洁处理后的清洁表面不能储存在大气环境中，但应储存在封闭的容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可以很大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。

真空镀膜加工是利用物理沉积作用将在上面涂附一层金属膜，具有比原有表面更耐磨、耐腐蚀等优于材料本身的性能，经过镀膜加工膜层使产品达到延长使用寿命，提高质量的效果。

加工产品前必须做好表面的清洁工作，不同的材质加工流程不一样，但是必须遵循产品加工的要求才能出性能优异的产品，无水无油的五金小件产品可以直接加工，其他材质在前期需进行打底层保护。

真空镀膜加工工艺中，要求装配到高真空环境的零件，事先都需要小心地进行清洗处理，否则各种污染物可成为大量气体和蒸气的来源，会大大延长真空器件的排气时间，不易获得高真空。

真空镀膜工艺则有所不同，真空镀膜是真空罩内进行的但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的，真空镀膜发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)吸引下，真空镀膜以很高的速度注入到工件表面。