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真空镀膜是在真空中将金属或非金属、气体等材料利用溅射、蒸发或离子镀等技术,形成薄膜的一种表面处理过程。真空镀膜表面的清洗非常重要，直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前，工件须在电镀前仔细清洗。真空镀膜加工膜层牢固、致密性好、抗腐蚀性强，膜厚均匀。多功能化学气相沉积

在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。多功能化学气相沉积

真空镀膜技术的应用时较早的。真空镀膜技术在电子方面开始是用来制造电阻和电容元件，之后随着半导体技术在电机学领域中的应用，又使这一技术成为晶体管制造和集成电路生产的必要工艺手段。近年来，随着集成路向大规模和超大规模集成方向发展，从而又对真空镀膜技术提出了新的要求。因而在电机学领域中又产生了一个新的分支一薄膜微电子学。真空镀膜表面的清洗非常重要，直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前，工件须在电镀前仔细清洗。

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。多功能化学气相沉积

一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。膜层牢固、致密性好、抗腐蚀性强，膜厚均匀。

真空镀膜是在真空中将钛、金、石墨、水晶等金属或非金属、气体等材料利用溅射、蒸发或离子镀等技术,在基材上形成薄膜的一种表面处理过程。与传统化学镀膜方法相比，真空镀膜有很多优点。

真空镀膜/真空镀膜加工/派瑞林镀膜加工

真空镀膜加工的特点，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。

(1)薄膜和基体选材广泛，薄膜厚度可进行控制，以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。

(2)在真空条件下制备薄膜，环境清洁，薄膜不易受到污染，因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。

(3)薄膜与基体结合强度好，薄膜牢固。

(4)干式镀膜既不产生废液，也无环境污染。

薄膜的成膜过程，是一个物质形态的转变过程，不可避免地在成膜后的膜层中会有应力存在，对于多层膜来说有不同膜料的组合，各膜层体现出的应力是有所不同的，有的是张应力、有的是压应力，还有膜层及基片的热应力。