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发布时间:2021-11-16 19:02:00 作者:拉奇纳米镀膜





PVD是物理气相沉积技术的简称,是指在真空条件下,采用物理的方法将材料(俗称靶材或膜料)气化成气态分子、原子或离子,并将其沉积在工件形成具有某种特殊功能的薄膜的技术,常见的PVD沉积技术有:蒸发技术、溅射技术、电弧技术。
目前,提高NbFeB永磁材料耐腐蚀性能的方法有添加合金元素和外加防护性镀层,但主要以添加防护性镀层(金属镀层、有机物镀层和复合镀层)为主。防护性镀层可以阻碍腐蚀相与基体之间的相互接触从而减缓磁体的腐蚀。添加镀层的方法有电镀、化学镀、物理气相沉积等。然而,PVD表面处理受批量生产成本和某些因素的限制,现在并没有大规模生产应用。
真空镀膜设备如何操作?
真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书和真空镀膜机上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在'关'位置。打开总电源开关,真空镀膜设备送电。
低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
把薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

材料经过真空镀膜机镀膜之前,都是要进行清洗的,也就是大家目前常说的真空清洗工艺,真空镀膜机真空清洗一般定义为在真空工艺进行前,先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空零部件的表面清洗处理是很必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外,由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。镀膜技术在信息存储领域中的应用薄膜材料作为信息记录于存储介质,有其得天独厚的优势:由于薄膜很薄可以忽略涡流损耗。
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