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发布时间:2021-11-11 04:41:00 作者:拉奇纳米镀膜





真空镀膜应用,简单地理解就是在真空环境下,利用蒸镀、溅射以及随后凝结的办法,在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。相对于传统镀膜方式,真空镀膜应用属于一种干式镀膜。真空条件下制备薄膜,环境清洁,膜不易受到污染,因此,可获得致密性好、纯度高、膜层均匀的膜。
物理气相沉积:在真空状态下,镀膜材料经蒸发或溅射等物理方法气化,沉积到基片上的一种制取膜层的方法。
真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有障碍。
镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。
真空镀膜的物理过程
基本原理可分为三个工艺步骤:
镀料的气化:即镀料的蒸发、升华或被溅射从而形成气化源
镀料粒子((原子、分子或离子)的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞,产生多种反应。
镀料粒子在基片表面的沉积
真空镀膜就是于真空室内,采用一定方法使材料凝聚成膜的工艺。
在真空条件下成膜有很多优点:可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低。
真空镀膜设备普遍应用于工业生产,无论是小产品还是大产品、金属制品还是塑胶制品、亦或者陶瓷、芯片、电路板、玻璃等产品,基本上所有需要进行表面处理镀膜的都需要用到。
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