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真空镀膜设备的维护需要实际操作，不仅包括真空镀膜设备本身，还包括真空镀膜设备等配置。毕竟，配置是真空镀膜设备维护的重要前提。

真空镀膜设备的维护保养等许多技能都是一样的，有着丰富的经验来应对各种情况，保证良好的效果。等离子化学气相沉积

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至一定量。连续使用半年以上，再将真空泵油时应该将油盖打开，用布擦拭箱内的污垢。

真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。

对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。

在真空条件下成膜有很多优点：可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。

蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。

真空镀膜加工中真空镀膜技术是什么

真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相堆积技术和化学气相堆积技术。

物理气相堆积技术是指在真空条件下，运用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接堆积到基体表面上的方法。制备硬质反应膜大多以物理气相堆积方法制得，它运用某种物理进程，如物质的热蒸腾，或遭到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控搬运进程。

真空镀膜加工工艺中，要求装配到高真空环境的零件，事先都需要小心地进行清洗处理，否则各种污染物可成为大量气体和蒸气的来源，会大大延长真空器件的排气时间，不易获得高真空。