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真空镀膜设备的维护需要实际操作，不仅包括真空镀膜设备本身，还包括真空镀膜设备等配置。毕竟，配置是真空镀膜设备维护的重要前提。

真空镀膜设备的维护保养等许多技能都是一样的，有着丰富的经验来应对各种情况，保证良好的效果。派瑞林镀膜厂商

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至一定量。连续使用半年以上，再将真空泵油时应该将油盖打开，用布擦拭箱内的污垢。

在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。薄膜的成膜过程，是一个物质形态的转变过程，不可避免地在成膜后的膜层中会有应力存在，对于多层膜来说有不同膜料的组合，各膜层体现出的应力是有所不同的，有的是张应力、有的是压应力，还有膜层及基片的热应力。

辅助气体的充入要考虑膜料的放气，镀前对膜料充分预熔充分放气，也可以避免由于蒸镀中膜料放气造成真空度过度下降，从而影响膜强度。

物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。 物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。