cvd化学气相沉积点击了解更多,拉奇纳米镀膜

派瑞林Parylene涂层不仅电性能和防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。

有些具有需小心保护的内部电子元件（植入式或外部），由于这些电子元件体积微小，没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷，一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均等因素的不良影响，因此无法采用传统的防护涂层。

Parylene真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐，、 低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，在国际临床运用的生物的表面涂层上，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被列为*材料。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器，心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子。

，在真空环境下，固体四氯代对环二体在150℃左右升华为气态；

第二，在650℃左右四氯代对环二体裂解成带自由基的活性2,5-二氯对二亚苯；

第三，在室温(25℃)条件下，游离态的2,5-二氯对二亚苯在固态基材表面沉积聚合，形成一层无的保形性薄膜。

  Parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点，可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域，因其生物兼容性和生物稳定性，还可以应用在领域。然而，需要注意的是，Parylene涂覆对于材料表面的要求比较高，要求附着力好，无杂质，因此在进行涂覆前，必须对物件的表面进行一定预处理，以增加涂覆物件的附着力。

溅射镀膜：用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上。溅射现象于1870年开始用于镀膜技术，1930年以后由于提高了沉积速率而逐渐用于工业生产。常用的二极溅射设备。通常将欲沉积的材料制成板材——靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入 10-1帕的气体（通常为气），在阴极和阳极间加几千伏电压，两极间即产生辉光放电。