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新北玻璃真空镀膜设备价格合理

发布时间:2020-10-29 12:39:00        作者:拉奇纳米镀膜







真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 

真空镀膜机工作的环境要求:       

真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。




(1)化学气相沉积(CVD)反应温度一般在900~1200℃,中温CVD例如MOCVD(金属有机化合物化学气相沉积),反应温度在500~800℃。若通过气相反应的能量,还可把反应温度降低。



(2)常压化学气相沉积(NPCVD)或大气压下化学气相沉积(APCVD)是在0.01—0.1MPa压力下进行,低压化学气相沉积(LPCVD)则在10-4 MPa下进行。CVD或辉光放电CVD,是低压CVD的一种形式,其优点是可以在较低的基材温度下获得所希望的膜层性能。


溅射镀膜

溅射镀膜,是不采用蒸发技术的物理气相沉积方法。施镀时,将工作室抽成真空,充入氢气作为工作气体,并保持其压力为0.13-1.33Pa,以沉积物质作为靶(阴极)并加上数百至数千伏的负压,以工件为阳极,两侧灯丝带负压(-30-100v)。加热灯丝至1700℃左右时,灯丝发射出的电子使氢气发生辉光放电,产生出氢离子H+,H+被加速轰击靶材,使靶材迸发出原子或分子溅射到工件表面上,形成沉积层。



溅射法可用于沉积各种导电材料,包括高熔点金属及化合物。如果用TiC作靶材,便可以在工件上直接沉积TiC涂层。当然,也可以用金属Ti作靶,再导入反应气体,进行反应性溅射,溅射涂层均匀但沉积速度慢,不适于沉积105mm以上厚度的涂层。溅射可使基体温度升高到500-600℃,因此,只适用于在此温度下具有二次硬化的钢制模具加工。


一个真正的单层,即大面积石墨烯薄膜覆盖在大面积铜箔上。改进了化学气相沉积(CVD)生长方法,消除了石墨烯生长在铜箔上的所有碳杂质。这种均匀“”的单层单晶石墨烯有望被用作超高分辨率透射电镜成像和光学设备的超薄支撑材料。也可作为一种合适的石墨烯,以实现非常均匀的功能化,这将促使推动许多其他应用,特别是用于各种类型的传感器。




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