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什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的***，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美***准：MIL-I-46058C

微纳米加工技术：化学气相沉积工艺（CVD）

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无的纳米膜层。

，在真空环境下，固体四氯代对环二体在150℃左右升华为气态；

第二，在650℃左右四氯代对环二体裂解成带自由基的活性2,5-二氯对二亚***苯；

第三，在室温(25℃)条件下，游离态的2,5-二氯对二亚***苯在固态基材表面沉积聚合，形成一层无的保形性薄膜。

  Parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点，可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域，因其生物兼容性和生物稳定性，还可以应用在领域。然而，需要注意的是，Parylene涂覆对于材料表面的要求比较高，要求附着力好，无杂质，因此在进行涂覆前，必须对物件的表面进行一定预处理，以增加涂覆物件的附着力。

作为电子电路的防护涂层，Parylene不需另加防霉剂，自己防霉能达零级。在盐雾实验中，与其它涂层相比，Parylene防护的电路电阻几乎不降落，其它涂层则都有较大的降落。很薄的Parylene涂层能提供的防护性能，还有利于电路板工作热量的消失，因此作为防护涂层Parylene能使电路具有更高的可靠性，分外是小型高密集度电子电路的防护，Parylene更表现出其独到的上风。

在室温环境下，Parylene可以抵抗化学物质的侵袭，并且在150℃下不溶于所有的。ParyleneC在175℃时可以消融与氯中，而ParyleneN在溶剂的熔点（265℃）时可溶。两种高聚物都可以抵抗大多数溶剂的侵袭。同时，它们也不受像Hostepal, Igepal 和柠檬油这类的应力裂解溶剂的影响。

Parylene在可见光的范围内吸取得很少，因此是透明无色的。无色透明的薄膜可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器件。在低于280微米时,ParyleneN和ParyleneC的吸取都很强。所有的Paryleng在至少60微米的波长下都相对没有特征（除了一些峰值特征以外）。图5，6和7透露表现1个mil薄膜的红外光谱。