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微电子机械系统（MEMS）Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，真空镀膜对于蒸发源与被镀制品和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低（10-5Pa）。Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。

市场对OLED显示器件要求使用寿命大于10000h，而OLED对于水汽、氧气非常敏感，其有机发光材料和活泼金属阴极都很容易和水汽、氧气发生反应而使器件遭到损坏。纳米镀膜技术及研发使用配方,能在金、银、钨、钴、钯等不同表面形成2-10nm厚度左右的镀层，从而使金属表面具有良好的耐磨性、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性，从而提升材料性能，可以的改善产品品质。派瑞林涂层的水汽渗透率非常低，较可靠的将OLED器件与外界的水氧隔绝，保护了发光材料和活泼金属阴极，从而提高了OLED的使用寿命。

派瑞林涂层的镀膜方式为气相沉积CVD，沉积过程过程主要有三步：

1. 真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。

2. 真空680℃条件下，将气态双份子裂解成活性单体。

3. 真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

瑞林（parylene）采用真空气相沉积工艺制备(CVD)的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代*有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。

电路板派瑞林（parylene）镀膜加工

防潮、绝缘、防锈、耐化学腐蚀性、气体阻隔性能*的派瑞林表面涂层，通过几个微米的薄膜，形成一层无和可靠的保护膜。此外，通过薄膜发挥*的防潮性能，是室外设置LED照明、灯饰、移动式显示器等的轻量化的*选择。