玻璃真空镀膜常用指南

四种常见的真空镀膜材料

1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。

2.氟化物：氟化钕NbF3,BaF2，氟化CeF3，氟化镁MgF2，LaF3，氟化钇YF3，氟化镱YbF3，氟化铒ErF3等高纯氟化物。

3.其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，CdS等真空镀膜材料。

4.金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯金Au，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，铜铟合金CuInGa，铜铟硒合金CuInGaSe，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜的途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干善于思考，不断探索和积累等。

镀膜优点很多，但并不是没有缺点。欧盟第七研发框架计划（FP7）提供980万欧元资助，总研发投入1340万欧元，由欧盟8个成员国德国（总协调）、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚，微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台（ORAMAETP）。镀膜前必先给车辆抛光，而再好的抛光机器和抛光工艺还是会伤到车漆。比如，抛光时会把车漆坚固的漆釉磨掉，这是物理层面的伤害，这对车还是有损害的。而且镀膜剂通过化学反应和车漆融合在一起，渗透至车漆内部，达到填补车漆分子之间的空隙。

因此，镀膜的坏处在于破坏了原有车漆的分子层，一旦做了以后就一直接着做才能保持光亮。而每做一次镀膜，车漆就会被磨掉一层且越来越薄。建议，每洗车十次或者每两个月给爱车打一次蜡，才能更好地保护车漆。

      派瑞林纳米涂层式一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。镀膜前必先给车辆抛光，而再好的抛光机器和抛光工艺还是会伤到车漆。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀coating形成膜层，薄膜的厚度可在1微米至 50微米的范围内任意调整。由于在真空状态下操作蒸气无孔不入效率，可形成无膜层， 并地控制膜层厚度，且各处厚度均匀一致，使派瑞林（(Parylene Coating)涂层的覆被特性远优于Epoxy（电泳）、Spary（喷涂）、Dipper（含浸）等涂装方式。

玻璃真空镀膜加工过程中的常见故障排除

玻璃真空镀膜加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如玻璃真空镀膜前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。

玻璃真空镀膜加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。*渗入芯片与基板间的微细间隙（甚至达10μm），提供完整的保护。玻璃真空镀膜故障的发生都与操作工***技能和工作责任心有关。玻璃真空镀膜生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,玻璃真空镀膜使得故障在所难免。要减少玻璃真空镀膜生产故障，提高玻璃真空镀膜从业人员的***技能和工作责任心是十分重要的。